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用于對氣體壓力控制有嚴格要求的半導體制造領域-——日酸調節(jié)器
日本日酸TANAKA公司生產(chǎn)的半導體氣體用壓力調節(jié)器TORR-50-3S-5010-6SH是一種專為半導體制造環(huán)境設計的高精度氣體壓力控制設備。這款產(chǎn)品具備以下特點：
- 高精度調控：該壓力調節(jié)器專為半導體制造的惡劣環(huán)境而設計，不僅具有高精度、穩(wěn)定性和快速響應，還必須耐腐蝕性化學物質、適應緊湊空間并在復雜的電磁環(huán)境中保持可靠的性能。
- 耐腐蝕性化學物質：在半導體制造過程中，經(jīng)常需要使用各種化學氣體，因此該設備能夠耐腐蝕性化學物質，確保長期穩(wěn)定運行。
- 適應緊湊空間：半導體制造設備通常體積較小，空間有限，該壓力調節(jié)器設計緊湊，能夠適應這種環(huán)境。
- 復雜電磁環(huán)境中的可靠性：半導體制造環(huán)境中電磁干擾較為復雜，該設備能夠在這種環(huán)境中保持穩(wěn)定的性能。
- 廣泛測量范圍：該設備支持從極真空到高壓的廣泛測量范圍，確保工藝參數(shù)的一致性和產(chǎn)品質量。
- 高純度要求：半導體制造對氣體的純度要求，該壓力調節(jié)器能夠滿足這種高純度要求，保證氣體的純凈度。
- 維護簡便：設計考慮到了維護的便利性，使得定期檢查和維護更加容易，減少了停機時間。
- 安全性：具備安全保護功能，如過壓保護、泄漏檢測等，確保操作人員和設備的安全。
綜上所述，日本日酸TANAKA的TORR-50-3S-5010-6SH壓力調節(jié)器是一款高性能、高可靠性的半導體氣體用壓力控制設備，適用于對氣體壓力控制有嚴格要求的半導體制造領域。
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